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氬氣

氬氣

發布時間: 2018-02-04 23:38 


  • 產品名稱: 氬氣
  • 產品編號: a006
  •  國標編號22011,CAS號7440-37-1,分子式 Ar,分子量39.95,無色無臭的惰性氣體;蒸汽壓202.64kPa(-179℃);熔點 -189.2℃;沸點-185.7℃;溶解性:微溶於水;密度:相對密度(水=1)1.40(-186℃);相對密度(空氣=1)1.38;穩定性:穩定;危險標記5(不燃氣體);主要用途:用於燈泡充氣和對不鏽鋼、鎂、鋁等的電弧焊接,即“氬弧焊”。

          氬氣的應用領域:

          不鏽鋼焊接保護氣體、鋁合金焊接保護氣體、銅合金的焊接保護氣體、高純氬氣廣泛用於ICP光譜儀、高純氬氣廣泛用於節能燈、白熾燈、日光燈的填充氣體、高純氬氣用於ArF準分子激光氣體、超純氬氣用於電子行業製造。

         氬氣的特殊用途:

           用於焊接、不鏽鋼製造、冶煉,還用於半導體製造工藝中的化學氣相澱積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶矽、鎢化、離子注入、載流、燒結等氬氣作為製作單晶及多晶矽的保護氣,為了提高矽晶體的質量,如何選用較高純度的氬氣,是製作矽晶體的一個議題。通過對本裝置的使用,氬氣的純度其中氧含量小於1ppm時,水分也小於1ppm時,製作出的單晶矽其氧碳含量就小於0.5ppm,這樣就提高了單晶的使用壽命並能達到要求,贏得客戶的滿意和市場的需求。由於一般液氬汽化後未經過純化處理,它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時氣體供應商提供的氬氣超過了此範圍,但使用氬氣的客戶確不知道其質量,所以往往給生產產品質量造成影響。有了氬氣純化裝置後不論氬原料氣的質量如何,隻要經過純化裝置的處理後,進入拉晶爐的氬氣,純度始終是恒定的。一般 O2<0.2ppm,水分<1ppm,這樣穩定的氬氣對生產晶體質量是有保證的。

       大氣壓等離子滲氮因其工業化前景獲得格外關注,但研究者多關注於工藝參數對金屬氮化物薄膜性能的影響,對等離子體改性過程中光譜輻射特性的研究較少。同時為獲得穩定的N2等離子體放電,通常在反應器中添加一定量的氬氣。



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